Mesin pelapis vakum adalah alat yang menyimpan lapisan tipis logam pada permukaan substrat. Prinsip kerja dasarnya dibagi menjadi tiga langkah: pembersihan, penguapan, dan pengendapan.
1. Pembersihan
Sebelum pengendapan evaporasi, ruang evaporasi harus dibersihkan. Karena mungkin terdapat oksida, minyak, debu dan zat lain yang menempel pada permukaan ruang evaporasi, hal ini akan mempengaruhi kualitas film. Pembersihan biasanya menggunakan cara kimia atau fisik.
2. penguapan
Bahan yang diinginkan dipanaskan diatas titik lelehnya sehingga membentuk molekul gas. Molekul gas kemudian dilepaskan dalam ruang vakum ke dalam ruang penguapan. Proses ini disebut penguapan. Suhu, tekanan dan laju penguapan mempengaruhi komposisi, struktur dan sifat film.
3. Deposisi
Molekul gas bahan dalam ruang penguapan memasuki ruang reaksi melalui pipa vakum, bereaksi dengan bahan aktif, dan kemudian mengendapkan produk ke permukaan substrat. Proses ini disebut sedimentasi. Suhu, tekanan dan laju pengendapan juga mempengaruhi kualitas dan kinerja film.
2. Aplikasi
Mesin pelapis vakum banyak digunakan dalam ilmu material, optik, elektronik dan bidang lainnya.
1. Ilmu Material
Mesin pelapis vakum dapat menyiapkan film tipis dari berbagai logam, paduan, oksida, silikat, dan bahan lainnya, dan banyak digunakan dalam pelapis, film optik, penyimpanan optik, display, transistor, dan bidang lainnya.
2. Optik
Mesin pelapis vakum dapat menyiapkan film logam dan paduan dengan reflektifitas tinggi dan film optik dengan fungsi khusus. Film-film ini dapat digunakan pada panel surya, mikroskop elektron berkinerja tinggi, aerogel, sensor UV/IR, filter optik, dan bidang lainnya.
3. Elektronik
Mesin pelapis vakum dapat menyiapkan bahan elektronik berskala nano dan perangkat mikroelektronik. Film-film ini dapat digunakan dalam nanotransistor, memori magnetik, sensor dan bidang lainnya.
Singkatnya, mesin pelapis vakum tidak hanya dapat menyiapkan berbagai bahan film tipis, tetapi juga menyiapkan film tipis dengan fungsi khusus sesuai kebutuhan. Di masa depan, teknologi pelapisan vakum akan lebih banyak digunakan dan dipromosikan.
Waktu posting: 12 Maret 2024